大型无尘室
上海MPC 大型无尘室(公司内设备)
| ISO标准洁净度 | No.1 | No.2 |
| 1级 | 2级 | |
| FED标准 | 100,000 | 300,000 |
| (洁净棚内) | ||
| 面积(m2) | 762 | 762 |
| 搬出口尺寸 | 5,900 x 6,000 | 5,900 x 6,000 |
| (高×宽：mm) | ||
| 起重机起吊重量(t) | 15 | 10 |
| 起重机下方高度(m) | 7.1 | 7.1 |
| ISO标准洁净度 | No.1 | No.2 |
| 1级 | 2级 | |
| FED标准 | 100,000 | 300,000 |
| (洁净棚内) | ||
| 面积(m2) | 762 | 762 |
| 搬出口尺寸 | 5,900 x 6,000 | 5,900 x 6,000 |
| (高×宽：mm) | ||
| 起重机起吊重量(t) | 15 | 10 |
| 起重机下方高度(m) | 7.1 | 7.1 |