手持式成分分析仪
Hitachi X-MET8000

CMM(三坐标测量机)
制造商：GLOBAL ADVANTAGE
最大工件尺寸
X : 1,500mm
Y : 3,000mm
Z : 1,000mm

泄漏检测仪
INFICON UL1000Fab

真空泵
ULVAC VSN 2401,
ULVAC NB 1200A